現代精密加工和超精密加工從加工成形的原理和特點來分類，可分為去除加工、結合加工和變形加工三大類：
去除加工又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，如車削、銑削、磨削、電火花加工等。
結合加工是利用理化方法將不同材料結合(Bonding) 在一起， 按結合的機理、方法、強弱等又可分為附著(Depo ii on) 、注人(In ection) 和連接(Joi ted) 三種。附著加工又稱沉積加工， 是在工件表面上覆蓋一層物質，為弱結合，如電鍍、氣相沉積等。注人加工又稱滲人加工，是在工件表層上注人某些元素，使之與基體材料產生物化反應，以改變工件表層材料的力學、機械性質，屬強結合，如氧化、滲碳、離子注人等。連接是將兩種相同或不同材料通過物化方法連接在一起，如焊接、粘接等。
變形加工又稱為流動加工，是利用力、熱、分子運動等手段使工件產生變形，改變其尺寸、形狀和性能，如鍛造、鑄造、液晶定向等。
表0-2表示了該三大類精密加工和超精密加工方法，可見其加工范圍十分廣泛。
從材料在加工過程中的流動來分析，去除加工是使材料逐步減少，一部分材料變成切屑，這種流動稱為分散流。結合加工是使材料在加工過程中逐步增加，這種流動稱之為匯合流。近年來，提出了電鏘、晶體生長、分子束外延，快速成形加工等加工方法，突破了傳統加工大多局限于分離去除加工和表面結合加工的概念，特別是快速成形加工是一種利用離散/堆積成形技術的分層制造方法，將一個三維空間實體零件分解為在某個坐標方向上的若干層有很小厚度的三維實體，由于厚度很小，可按二維實體成形，再迭加而成為所需零件的原型。變形加工是指在加工過程中材料基本不變，稱為直通流。
