1、向高精度、高效率方向發展
隨著科學技術的不斷進步，對精度、效率、質量的要求愈來愈高，超精密加工技術就是要向加工精度的極限沖刺，應該說，這種極限是無限的，當前的目標是向納米級進軍，而現狀是處于亞徽米級水平。
圖中表示了超精密加工理論基礎和應用技術的發展，提出了量子技術、量子能量的利用，并將和太空技術聯系起來。
2、向大型化、微型化方向發展
由于航天航空等技術的發展，大型光電子器件要求大型超精密加工設備，如美國研制的加工直徑為2.4~4m的大型光學器件超精密加工機床。
由于微型機械、集成電路的發展，超精密加工技術向微型化發展，如微型傳感器，微型驅
圖中是利用微細加工技術制作的微型機械及零件，其中圖a為一對帶輪，直徑為1mm，圖b為電機，其轉子直徑約為192pm，圖c為梳形執行元件，圖d為一個齒輪，直徑為124pm。
3、向加工檢測一體化發展
由于超精密加工的精度很高，必須發展相應的檢測技術才能適應其要求；同時，采用加工和檢測獨立進行的方法可能由于安裝等誤差而不能實現，因此，要采用在位檢測方法，使加工檢測一體化。
4、在線檢測與誤差補償
超精密加工的精度很高、影響因素多且復雜，進行在線檢測、工況監控以確保加工質量及其穩定性是十分必要的。由于超精密加工的精度很高，加工設備本身的精度有時很難滿足要求，就要采用在線檢測和誤差補償的方法來提高精度，保證加工質量的要求。
5、新型超精密加工方法的機理
加工機理的研究是新技術的生長點，超精密加工機理涉及微觀世界和物質內部結構，所利用的能源包括機、光，電、聲、熱、化、磁、原子等，十分廣泛。不僅可以采用分離去除加工，而且可以采用分層堆積加工方法；既可采取單獨加工方法，更可采用復合加工方法。加工機理的研究往往具有突被性。
6、新材料的研究
新材料包括新的工具材料（切削、磨削）和被加工材料。精密加工和超精密加工的被加工材料對其加工質量的影響極大，其化學萬分、力學機械性能均有嚴格要求，還需要研究。
當前，精密加工和超精密加工在我國急需要研究的是實用化。將一些成熟或比較成熟的精密加工和超精密加工技術推廣到實際中云，以提高加工技術的水平，使生產的機械產品質量更好、生產率更高。
