實際結晶在表面上有很多晶格缺陷,從材料上去除表面原子所需能量比破壞材料原子結合所需的能量小,尤其是凸出部分易受沖擊而被去除;當兩物質相互摩擦時,兩物質表面的結合能量分布出現重

疊,強度高的物質表面原子被強度低的物質表面原子沖擊而去除,實現用軟質粒子來加工硬質材料,而且工件材料也不會因塑性變形產生錯位，工件***外層表面原子和研磨劑粒子***外層表面原子相互擴散,降低了工件***外層表面原子的結合能量,被以后的磨粒粒子沖擊而去除。這種加工方法的加工效率隨拋光粒子向工件表面的沖擊頻率、沖擊速度、工件與拋光劑的表面原子結合能量分布和相互擴散的難易程度、不純物原子侵入時工件***外層表面原子的結合能量的降低比例而異。例如可用極軟的石曼和溶于水的LF來拋光很硬的藍寶石。為了提高加工效率,可使用能起機械化學反應的軟質物質作拋光劑。

　　用傳統方法以硬質磨粒來拋光軟質材料工件,雖然加工效率高,但難于避免工件材料的變形和破壞,但若選取直徑極小的硬質粒子沖擊工件表面時,如果設定加工條件無工件變形,只進行去除***外層表面原子,也可使工件不產生錯位。例如可使用公稱直徑為0.007nm的SiO2超微粒子,進行拋光軟質Mn-Zn鐵寰體和LiNbO3等單晶工件而不產生錯位和增殖。技術要點是使用超徽粒子避免大的粒子混入。