常用金屬拋光機中電子束加工與其他加工方法相比,有許多特點。

　　1)束徑小、能量密度高　電子束能夠極其微細的囊焦,東徑可達100~0.01ym范圍。同時,***小束徑的電子束長度可達其束徑的幾十倍,故能適于深孔加工。

　　2)被加工對象范圍廣　常用金屬拋光機中電子束加工是靠熱效應和化學效應,熱影響范圍可以很小,又是在真空中進行,加工處化學純度高,故適于加工各種硬、膽、韌性金屬和非金屬材料、熱敏材料、易氧化金屬及合金、高純度半導體材料等。由于在加工時工件上很少產生應力和變形,故適于加工易變形零件。

　　3)加工速度快、效率高。

　　4)控制性能***,易于實現自動化可通過磁場或電場對電子束的強度、束徑、位置進行迅速準確地控制,且自動化程度高。易于加工圖形、圓孔、異形孔、盲孔、錐孔、彎孔及狹縫

　　電子束加工的應用范圍很廣,可用來打各種孔、切槽、焊接、光刻、表面改性等,常用金屬拋光機中既是種精密加工方法,又是一種重要的微細加工方法。近年來,出現了多脈沖電子束照射等技術,使電子束加工有了更進一步的發展。