在微位移的范圍內,為使工作臺具有較高的分辨力,希塑驅動力或輸人位移的微小變化微動工作臺應有所響應,因此導軌副間的摩擦力及其特性變化,對微動工作臺的微位移特性有著重要的影響。

　　滑動導軌摩擦力不是常數,受靜動摩擦系數的影響較大摩擦力隨相對靜止持續時間的增加而增加,隨相對滑動速度的增加而減小。滾動導雖然岸擦力的平均值很小,但是由于滾動體和導軌面的制造誤差、表面的平面度誤差以及隔離架的滑動,使滾動摩擦力在較大的范國內變動,而引起較大的隨機誤差,因此當滾動導軌作微小間歌運動時,與滑動導軌運動特性圖13工作臺和傳動相類似。也就是說,在微位移范圍內,動導軌和滑動導軌都系統模型存在靜、動摩擦力之差,均不適合作微動工作臺。

　　可見,系統的分辨力受靜、動摩擦力之差△F和傳動系統的剛度k的影響,欲提高分辨力應減小靜、動摩擦力之差和提高系統的剛度。

　　滑動導軌靜、動摩擦力之差較大,潨動導軌結構復雜、抗振性差、對臟物敏感,因此兩種導軌均不適合作微動工作臺。

　　彈性導軌是利用受力后發生彈性變形來實現微位移,故僅存在彈性材料內部分子之間的內摩擦,而且沒有間隙,具有高的位移分辨力,是較理想的微位移機。