精密加工和超精密加工處于發展中，當前有以下幾個特點。

　　(1)形成了系統工程精密加工和超精密加工是一門多學科的綜合高級技術，要達到高精度和高表面質量，不僅要考慮加工方法本身，而且涉及被加工材料、加工設備及工藝裝備、檢測方法、工作環境和人的技藝水平等。因此，孤立的加工方法是不能達到預定的效果的，必須有綜合技術和條件的支持，從而形成了精密加工系統工程。精密加工技術與系統論、方法論、計算機技術、信息技術、傳感器技術、數字控制技術的結合，更促成了精密加工系統工程的形成。在研究精密加工和超精密加工理論和表面形成機理、建立數學模型的同時，還要研究各項相關技術。

　　(2)精密加工和超精密加工與微細加工和超微細加工關系密切徽細加工和超微細加工是指制造微小尺寸零件和超佛小尺寸零件的生產加工技術。微細加工和超微細加工的出現和發展與集成電路密切相關，集成電路要求在徽小面積的半導體材料芯片上制造出更多的元件，形成各種雜功能的電路。因此，單元芯片上的單元邏輯門電路數、單元芯片上的電子元件數和***小線條寬度是集成電路集成度的標志，同時也表示了其制造難度和水平，如表0-1所示，表中列出了小、中、大、超大規模集成電路的參數與性能。

　　微細加工與一般尺寸加工在概念和機理上是不同的，一般尺寸加工時，精度是用公差單位來表示的，公差=公差等級系數×公差單位，相同精度有相等的公差等級系數，但公差單位隨基本尺寸的大小而不同，基本尺寸愈大，公差單位愈大，按基本尺寸的分段范圍有不同的公式來計算。而微細加工時，由于加工尺寸很小，精度就用尺寸的絕對值來表示。因為從工件的角度來看，一般加工和微細加工的***大差別是切屑的大小(厚度)不同。微細加工時背吃刀量極小，切削在材料的晶體內部進行，切削去除量用“加工單位尺寸”或稱“加工單位”來表示，

“加工單位”的大小代表了加工精度的水平，如分子級加工、原子級加工。

　　微細加工與一般尺寸加工雖然在概念和機理上有所不同，但從加工技術上來看，微細加工主要是加工微小尺寸，而精密加工和超精密加工既加工大尺寸，也加工小尺寸，因此，微細加工是屬于精密加工和超精密加工范疇。實際上，兩者的許多加工方法都是相同的，只是加工對象有所不同而已。

　　(3)精密加工和超精密加工與特種加工關系密切特種加工是指利用機、光、電、聲熱、化學、磁、原子等能源來進行加工的非傳統加工方法，近年來發展很快，不僅可以采取單獨加工方法，更可采用復合加工方法，應用十分廣泛。目前，許多精密加工和超精密加工方法采用了激光加工、離子束加工等特種加工工藝，開辟了精密加工和超精密加工的新途徑，一些高硬度、脆性的難加工材料，如淬火鋼、硬質合金、陶瓷、石英、金剛石等，一些剛度差、加工中易變形的零件，如薄壁零件、彈性零件等，在精密加工和超精密加工時，特種加工已是必要手段，甚至是唯一手段，形成了精密特種加工。

　　當前，雖然傳統加工方法仍占有較大的比例，是主要加工手段，應該重視并進一步發展，但由于特種加工的迅速興起，不僅出現了許多新加工機理，而且出現了各種復合加工技術，它將幾種加工方法融合在一起，發揮各自之所長，相輔相成，具有很大的潛力，可以提高加工精度、表面質量和效率，并且擴大了加工應用范圍。

　　(4)加工檢測一體化，精密加工和超精密加工的加工精度和表面質量都很高，因此，一定要有相應的檢測手段，才能說明是否達到技術要求。所以，在精密加工和超精密加工中，加工和檢驗都是難題，而且往往檢測的難度更大，只有采用加工檢測一體化的策略，在加工的同時考慮檢測。

　　從檢測過程的時域來分析，檢測可分為離線檢測、在位檢測和在線檢測三大類。離線檢測是指加工完成后，在檢驗室檢測，因此，加工與檢測是分離的，如果檢測不合格，由于加工精度很高，一般很難返修。在位檢測是指加工完成后，工件不卸下，在機床上進行檢測，如果檢測不合格，可及時返修，不會產生返修時再次裝夾造成的誤差，但要考慮離線檢測和在位檢測由于檢測環境的差異對檢測結果的影響。在線檢測是在加工的過程中進行實時檢測，隨時掌握加工誤差值及其發展趨勢，并進行實時控制，是一種動態檢測過程。

　　誤差補償是提高加工精度的一個有效技術措施，可分為靜態誤差補償和動態誤差補償兩大類。靜態誤差補償主要用來補償工藝系統中的系統誤差，如誤差校正尺。動態誤差補償是加工過程中的實時補償，可以補償工藝系統中的隨機誤差和系統誤差，動態誤差補償和在線檢測是

密切相關的。

　　數控技術、計算機控制技術、傳感器技術、微位移機構的發展，豐富了誤差補償方法，特別是使在線檢測與動態誤差補償有了長足進步。在精密加工和超精密加工中，檢測與誤差補償是加工檢測一體化的重要舉措。

　　(5)精密加工和超精密加工與自動化技術聯系密切制造自動化是先進制造技術的重要組成部分，它的作用不僅是提高效率、提高勞動生產率、改善工作環境和工人勞動條件，而且是提高加工精度和表面質量、避免手工操作引起的人為誤差、保證加工質量及其穩定性的重要舉措。同時，它又是快速響應市場需求、縮短生產制造周期的有力措施。精密加工和超精密加工要達到高質量，必須依靠自動化技術才能保證。如工藝過程***化與適應控制、檢測與誤差補償、計算機控制等技術都是提高和保證加工質量的自動化技術。

　　雖然精密加工和超精密加工的加工質量在當前仍靠工人的技藝來保證，如研磨、刮研等加工方法仍依賴于手工，但從發展的趨勢來看，自動化技術代替手工的比例越來越大，加工效果也越來越***。

　　(6)精密加工和超精密加工的發展與產品需求聯系緊密精密加工和超精密加工由于在加現代精密加工和超精密加工從加工成形的原理和特點來分類，可分為去除加工、結合加工去除加工又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，如車削、銑削、磨削、電火花加工質量上要求高，技術上難度大，涉及面廣，影響因素多，因此，往往投資很大，所以精密加工和超精密加工的發展與具體的產品需求關系密切， 例如， 美國加利福尼亞大學Lawrence Live-mor實驗室和Y-12工廠在能源部支持下， 于1989年聯合研制成功的DTM-3型超精密金剛石車床，就是針對了加工激光核聚變用的各種反射鏡、大型天體望遠鏡的天線等，反映了航天技術的需求。我國在精密加工和超精密加工技術的發展上也是結合了航天、航空技術上的具體需求進行的。當前，精密機床、超精密機床的規格化、系列化遠不及普通機床，品種也不夠多，主要是由于在技術上推廣不夠，通用性不強，價格又十分昂貴，隨著市場需求的擴大、產品質量的提高和精密加工技術的不斷成熟，通用化、系列化的精密加工和超精密加工設備一定會更為廣泛地應用于生產實際中。