加工工具主要是指刀具、磨具及刃磨、修整裝置。
 
　　對于超精密切削,***先是超硬刀具問題,目前的超硬刀具材料主要有金剛石、立方氯化陶瓷等,用得比較廣泛的是人造金剛石,即聚晶金剛石。******的材料是天然金剛石,但價格昂貴。金剛石刀具有切前刃形面和幾何角度設計、晶體定向、晶面選擇、刃磨、切削時對刀等問題,其中如刃磨應在專門的研磨機上進行,要有高超的技藝,刃口鈍圓半徑是一個關鍵參數,若極薄切削厚度欲達10nm,則刃口鈍圓半徑應為2nm;切削時精確方便地對刀將直接影響加工精度、表面粗糙度和加工效率,至今是一個難題對于超精密磨削,當前主要的磨具是金剛石、立方氮化硼等微粉砂輪,這種砂輪有磨料粒度選擇、粘接劑選擇、修整方法等問題,通常金剛石微粉砂輪多采用粒度為2nm的金剛石微粉,采用樹脂、銅、纖維鑄鐵等粘結劑,以鍋為粘結劑居多。金剛石砂輪的修整分為整形和修銳兩個階段,前者是修出幾何形狀,后者是慘出鋒利刃口,實際上是爽出金剛石顆粒由于金剛石微粉砂輪易堵塞,在使用中應采用在線修整。常用的修整方法有電解法、電火花法、磨削法和軟彈性法等。

　　對于超精密研磨和拋光機,可采用鑄鐵、錫、聚酯、呢氈等材料作研具或拋光器,采用金剛石、立方氮化硼、錯剛玉、鉻剛玉、氧化鋁、碳化硅等磨料,進行的接觸研磨拋光、軟質粒子研磨拋光、液中研磨拋光等,獲得高精度和低表面粗糙度。
 
　　刀具、磨具材料的選擇是一個關鍵,刀具磨具的發展史基本上可用刀具磨具材料的發展來代表,從碳鋼、合金鋼(高速鋼)、硬質合金、陶瓷、立方氮化需到金剛石,以及采用多元共滲、鍍膜、沉積等技術、提高了耐用度,超硬材料的出現給精密加工和超精密加工的發展提供了條件。目前,由于金剛石是由碳原子組成,與鐵碳構成的黑色金屬有較大的親和力,故不宜切削黑色金屬,多用于切削有色金屬,現正在研究利用保護氣氛、低溫等措施來切削黑色金展,或用立方氮化硼、陶瓷等材料。