1)電子管式　由主振級產生具有一定脈寬和頻率的脈沖信號,經前置放大器放大后推動以電子管作為可控開關元件的功率輸出級,由于電子管為高阻抗開關元件,主回路為高壓小電流,要用脈沖變壓器變換為低壓大電流脈沖,才能用于電火花加工。因此,受到末級功率管和脈沖變壓器的限制,脈寬比較窄,脈沖電流不大,能耗較大,多用于沖模穿孔等精加工。

　　2)閘流管式　用閘流管作為可控開關元件來發生脈沖。閘流管在陽極電壓升高到一定值柵極輸人正脈沖時才能導通;脈沖電流為零,柵極電壓為負時才能截止。當高壓直流電源經過電感器向電容器充電到額定電壓時,觸發電路定時向閘流管的柵極輸入一個正向觸發脈沖信號,使閘流管導通,這時電容器所儲高壓電能,在極短時間內經脈沖變壓器的初級繞組放電次級繞組感應出低電壓大電流的電脈沖給電極間隙,擊穿介質而產生火花放電。脈沖結束,閘流管截止,放電間隙恢復絕緣。如此周而復始。其特點與應用和電子管式相同,目前都已很少采用。

　　3)晶體管式　主振級為一不對稱多諧振蕩器,它發出一定脈寬和頻率的矩形脈沖信號,又稱脈沖源。倌號經前置放大器放大后,推動末級功率晶體管開關電路,當導通時,直流電源加在電極間隙上,擊穿介質進行放電加工,截止時,脈沖結束,介質恢復絕緣。如此周而復始。為了加大功率,功率極可采用多組大功率高頻晶體管并聯,精加工時用其中一組。為了防止啟電間隙短路時損壞晶體管,每只晶體管均串聯電阻,起限流作用及管間均流作用。晶體管脈沖電源脈沖頻率高、參數易調節、波形***,易實現多回路加工和適應控制,在中小型沖模及型腔模具加工中應用較多,并在其基礎上派生出多種脈沖電源,但其輸出功率和加工速度不及品閘管式脈沖電源。晶體管式脈沖電源原理圖見表68。

　　4)晶閘管式　是利用晶闡管的導通和截止將直流電轉變成脈沖電流。由直流電源、晶閘管、限流電阻器R1及電極間隙串聯組成主回路。當接通直流電源后,若觸發電路中有正觸發脈沖信號使晶閘管導通,則主回路工作,間隙介質被擊穿而放電加工。當晶閘管導通達到所需脈寬時,關斷電路起作用使晶閘管關斷,完成一個脈沖過程。晶閘管式脈沖電源脈沖頻率調節范圍廣、功率大、生產率高、工具電極耗損低、耗電量小,元件壽命長、無高壓,操作方便應用目益廣泛,且在其基礎上派生出多種脈沖電源。