三坐標測量機的測量系統的主要部件是測量頭和標準器。
三坐標機的糖度與工作效率和測量頭密切有關,沒有選進的測量頭,就無法發揮測量機的功能。三坐標測量頭可視為一種傳感器,只是其種類、結構原理、性能較一般的傳感器復雜得多,大致可歸納為以下幾類
(1)機械接觸式測頭(硬測頭)包括圓錐形、圓柱形和球形測頭,回轉式半圓和回轉式1/4柱面測頭,盤形測頭,凹圓錐測頭,點測頭,V形塊測頭及直角測頭等
(2)光學非接觸測頭光學非接觸測頭對于測量軟的、薄的、脆性的工件及光學刻線非常方便,尤其對限定不能用機械測頭與電測頭的工件,只能采用光學非接觸測頭。它不僅可作坐標測量用,也能用作三坐標的測量。適合于測量不規則空間型面(渦輪葉片、軟質表面等)
(3)電氣接觸式測量頭按測頭能感受的運動方向可分為:單向的一維電測頭、雙向的二維電測頭和三向的三維電測頭?，F以雙簧片或三向電感測量頭為例予以介紹。圖967為其結構原理圖,由于這種測控頭很多,故又名“星形測頭”。它采用了三層簧導軌形式,每層有兩片簧懸吊,圖中16為x向,1為y向,3為z向。為了增強片簧的剛度和穩定性,片簧中間為金屬壓板。為保證測量時靈敏、精確,片簧不能太厚,一般取01mm。由于z向導軌是水平安放的故采用三組彈簧加以平衡?？烧{彈簧14的上方有一螺旋升降機構,靠調整電動機10,轉動螺桿11,使螺母套13升降來自動調整平衡力的大小。當變換測桿時,可調整彈簧14平衡其重量。為了減小z向彈簧片受剪切應力而引起的變位,設置了彈簧2、15,用以平衡測頭x、y部件的自重,以保證z軸位移的精確。
