離子束加工在微細加工和精密加工中是一種***有前途的原子、分子加工單位的加工方法。其特點可歸納如下

　　(1)加工精度和表面質量高離子束加工是靠微觀力效應,被加工表面層不產生熱量,不引起機械應力和損傷。離子束既直徑可達1m以內,加工精度可達mm級。

　　(2)加工材料廣泛可對各種材料進行加工。由于加工原理是力效應,故對脆性、半導體、高分子等材料都可加工。由于加工是在真空下進行,故離子注入適于加工易氧化的金屬、合金和半導體材料等。

　　(3)加工方法豐富離子束加工可進行去除、鍍膜、注人等加工,利用這些加工原理出現了多種多樣的具體方法,如成形、刻蝕、減薄、曝光等,在集成電路制作中占有極其重要的地位。

　　(4)控制性能***,易于實現自動化

　　(5)金屬表面拋光機應用范圍廣泛可根據加工要求選擇離子束的束斑直徑和能量密度,直徑小、能量密度大的離子束用于去除加工;直徑大、能量密度較低時適于鍍膜、刻蝕;而直徑大、能量強的離子束適于注入加工。