靜壓導軌常用絲杠驅動。為避免絲杠螺母間的摩擦造成小進給量時的爬行,可以采用滾珠絲杠,滾珠絲杠一般為標準件,使用時可以選用。但隨著走刀速度加快,熱影響就成為嚴重問題。因此,有的用液體靜壓絲杠。液體靜壓絲杠結構復雜,且要自制,為液體靜壓絲杠的原理圖,在絲杠和螺母的偶合面間,由壓力油形成油腔,使偶合面不直接接觸,提高了導軌驅動的平穩性。
 

　　近年來為進一步提高導軌運動的平穩性,在超精密機床中導軌的驅動有采用摩擦驅動裝置,戚采用鋼帶滾桶驅動裝置的。這些新的導軌驅動方法已在超精密機床中得到實際使用,并獲得較***效果。圖中為超精密機床導軌的摩擦驅動裝置原理圖,其工作原理如下:與導軌運動體相連的驅動桿夾在兩個摩擦輪之間,用彈簧壓板壓緊,使驅動桿無滑動。兩個摩擦輪均有靜壓軸承支承,可以自由轉動。下摩擦輪有電動機驅動,靠摩擦力帶動導軌作非常平穩的直線運動。摩擦驅動已應用較普遍,其中美國的IOmM型機床是***典型的。